EUV

EUV는 "Extreme Ultraviolet"의 약자로, 극단적인 자외선 영역을 의미합니다. 이는 파장이 약 10에서 124 나노미터에 해당하는 전자기 스펙트럼의 한 부분으로, 주로 반도체 제조 공정에서 사용되는 최첨단 노광 기술에 활용됩니다. EUV 리소그래피는 미세한 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼에 인쇄하는 데 필수적이며, 더 작은 반도체 소자를 제조하는 데 있어 중요한 역할을 합니다. EUV 기술은 차세대 칩을 제조하는 데 있어 높은 해상도를 제공하며, 따라서 더 많은 트랜지스터를 작은 공간에 집적할 수 있게 합니다.